Ион Беам Цонес

СИКАИДА конуси јонског снопа су основне компоненте имплантације и система за пренос јонског снопа. Направљени од напредних керамичких материјала високе чистоће и обрађени прецизним бризгањем и високотемпературним синтеровањем, имају изузетно низак садржај нечистоћа, отпорност на високе температуре и стабилну тачност димензија. Могу се машински обрађивати у сложене геометрије како би задовољиле екстремно високе захтеве толеранције, што их чини погодним за процесе имплантације полупроводничких јона високих перформанси.

Као професионални произвођач у Кини, СИКАИДА обезбеђује поуздане, исплативе и прилагодљиве конусе јонског снопа купцима широм света у областима полупроводника, равних дисплеја, оптике, микроелектромеханичких система (МЕМС) и соларне енергије. СИКАИДА је поуздани дугорочни добављач и наменски производни погон за врхунске процесне компоненте јонског снопа.

Материјали и производња

1. Материјали

Ион Беам Цонес користи материјале укључујући глиницу (Ал₂О₃) са чистоћом ≥99,9%, силицијум нитрид (Си₃Н₄) са чистоћом ≥99,5%, цирконијум оксид (ЗрО₂) са чистоћом ≥99,8% и 99% фузионисани силицијум диоксид. Сви материјали испуњавају строге стандарде чистоће у индустрији полупроводника и погодни су за захтеве перформанси различитих апликација.

2. Процес производње

Производни процес обухвата прецизно бризгање, високотемпературно синтеровање, ЦНЦ прецизну машинску обраду, полирање на нивоу огледала и аутоматизовано чишћење и тестирање. Сваки процес је строго контролисан за прецизност и квалитет како би се осигурало да коначни производ испуњава индустријске стандарде и захтеве купаца.

Кључни параметри производа

1. Димензиона тачност

Конуси јонског снопа имају толеранције контролисане унутар ±0,05 мм, храпавост површине Ра≤0,4μм, тачност конуса унутрашње рупе ±0,02 мм, коаксијалност ≤0,03 мм и окомитост ≤0,02 мм. Ова изузетно висока тачност димензија ефикасно обезбеђује прецизност преноса јонског снопа.

2. Површинска обрада

Површински третмани укључују механичко полирање за завршну обраду у огледалу, УВ-очврснуте премазе за побољшање својстава површине, премазе отпорне на гребање за побољшање отпорности на хабање и кисељење и пасивизацију за уклањање нечистоћа и побољшање стабилности. Одговарајуће методе третмана могу се изабрати на основу захтева примене.

3. Индикатори учинка

Конуси јонских зрака раде у температурном опсегу од -196℃ до +800℃, обезбеђујући стабилан рад у екстремним температурним окружењима. Поседују запреминску отпорност ≥10¹⁴Ω·цм и површинску отпорност ≥10¹²Ω, показујући одлична изолациона својства. Такође поседују изузетну отпорност на плазму и хемијску корозију, што им омогућава да се прилагоде сложеним процесним окружењима.

Цоре Адвантагес

1. Ултра-висока чистоћа: Чистоћа сировог материјала прелази 99,9%, минимизирајући контаминацију полупроводничких плочица, обезбеђујући стабилне електричне перформансе уређаја и испуњавајући строге захтеве за чистоћу производње полупроводника.

2. Екстремно висока геометријска тачност: Обезбеђује конзистентне димензије производа током масовне производње, са грешком конусности контролисаном унутар ±0,05 мм и грешком заобљености ≤0,02 мм, што прецизно одговара захтевима за инсталацију и употребу система за пренос јонског снопа.

3. Квалитет површине сличан огледалу: храпавост површине Ра≤0,4 μм, ефикасно смањује расипање јонског снопа, побољшава униформност преноса јонског снопа и даље оптимизује тачност имплантације полупроводничких уређаја.

4. Стабилност широког температурног опсега: Стабилно ради у дубоким криогеним до високотемпературним окружењима. Материјал има изузетно низак коефицијент топлотног ширења, одржавајући одличну стабилност димензија чак и са температурним променама, спречавајући утицаје на перформансе услед температурних флуктуација.

5. Одлична изолација и отпорност на корозију: Ефикасно спречава акумулацију наелектрисања током преноса јонског снопа и издржава јаке киселине, јаке алкалије и разне корозије плазме, обезбеђујући дуготрајан стабилан рад у сложеним процесним окружењима.

Прилагођене услуге

Модели и величине производа могу се прилагодити према различитим захтевима процеса. Подржани формати цртежа укључују СТП, СТЕП, ИГС, КСТ, ДКСФ, ДВГ, ПДФ и физичке узорке. Што се тиче времена испоруке, испорука узорка је 4-7 недеља, а испорука серије производа је 8-12 недеља. Наш систем квалитета је у складу са стандардима ИСО9001:2015, СГС РоХС, РЕАЦХ и СЕМИ, свеобухватно обезбеђујући квалитет производа и ефикасност испоруке.

Подручја примене

Конуси са јонским снопом се широко користе у више поља, укључујући имплантаторе јона у производњи полупроводника, опрему за обраду у дисплејима са равним екраном, системе за таложење јонским снопом (ИБД) и системе за гравирање јонским снопом (ИБЕ) у производњи оптичких уређаја, производњу микроелектромеханичких система (МЕМС), опрему за јонски допинг за соларне ћелије и процесе имплантације јона за електроенергетске полуполарне уређаје као што су биполарни трансуктори. (ИГБТ) и МОСФЕТ-ови за напајање.

Често постављана питања:

П1: Који материјали се обично користе у конусима са јонским снопом?

А1: Ми првенствено користимо напредне керамичке материјале као што су глиница високе чистоће (Ал₂О₃), силицијум нитрид (Си₃Н₄) и цирконијум оксид (ЗрО₂). Ови материјали поседују изузетно високу чистоћу, одличну отпорност на високе температуре и стабилна електрична својства.

П2: Може ли УЕТ да обезбеди прилагођене спецификације и површинске третмане? 

А2: Да. УЕТ може прилагодити величину, конус, врсту материјала и површинску обраду конуса према вашим захтевима процеса. Имамо велико искуство у производњи и можемо испунити специфичне захтеве купаца.

П3: Како се гарантује прецизност и квалитет конуса јонског снопа?

А3: Усвајамо ИСО9001:2015 систем управљања квалитетом и опремљени смо опремом за тестирање високе прецизности, укључујући машину за координатно мерење, тестер храпавости површине и рендгенски флуоресцентни спектрометар, како бисмо осигурали да свака серија производа испуњава строге индустријске стандарде.

П4: Који је циклус испоруке?

А4: Циклус испоруке узорка је 4-7 недеља, а циклус испоруке серијског производа је 8-12 недеља. Специфични циклус зависи од сложености производа и количине поруџбине.